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如何降低净化车间的能耗?

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  净化车间洁净室是耗能大户,一座晶圆厂的能源消耗量相当于1万户家庭的能耗综合,每年能源费2300万元,IC工厂洁净厂房的冷耗平均0.4-0.45RT/㎡,相当于星级酒店单位面积冷耗的15倍。能耗指标不单纯决定于洁净度,还有众多影响因素:工厂所处地域,工艺设备发热量,排风量,系统漏风率,空调系统的流程,气流组织形式(开启式、微环境优先),设备选型和设计裕量。

  既然能耗成本如此高,那么有没有什么办法可以有效地降低净化车间的能耗,为企业节省生产成本呢?可以从以下几方面去考虑。


  一、空调机房规划在洁净室侧面

  空调机房的位置宜在洁净室的侧面,这不但可以节能,也有利于风道的布置,并使气流组织更加合理,同时,因为管道距离的缩短,也节省了工程费用。当然,空调机房藏于车间吊顶与楼顶之间更节省建设成本和能耗,但由于维护及维修相对麻烦,且存在一定安全隐患,在净化车间规划时可根据企业自身实际情况来选择最合适的方式。


  二、空调净化需关注节能

  洁净空调系统的能耗占了整个净化车间中能耗很大的比例,设计与施工中需关注节能措施。在设计中,系统及区域的划分,送风量计算,温度与相对温度的确定,洁净级别与换气次数的确定,新风比,风管保温,风管制作中的咬口形式对漏风率的影响,干管支管连接角度对气流阻力的影响,法兰连接是否漏风等以及空调箱、风机、冷水机组等设备选择无一不与能耗有关,所以,这些细节必须要考虑到。

洁净空调系统


  三、风管要求经济与效率并重

  在集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。在运行中,有时候管件的局部阻力大大高于风管的沿程阻力,这种状况需要改善。管件主要有弯头、变径管三通及四通管。弯管的中心曲率半径应大于矩形风管的边长,圆形则采用1.25倍直径。大断面风管应在管内加导流片,以减少阻力。而在实际安装施工中,较少如此处理。对于变径管,不可突然变径,宜作成渐扩(缩)管,渐扩管每边扩展角应大于15°,渐缩管则每边收缩角不大于30°。矩形风管的三通要顺气流弯管弯曲分流,支管也应有一定的曲率半径。若要90°角分流,则应在弯头内加导流片。

风管管道

 

  四、依据气候条件选空调箱

  关于空调箱的选择,应考虑所处的气候环境。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区,则应在通用的空调机组上增设新风预热段,采用淋水式空气处理方式,使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润,空气含尘浓度较低的南方地区,则冬季也无需对新风预热,对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤,表冷面调节温湿度,也可加强温减湿工序,再经中效过滤和终端高效或亚高效过滤。空调箱配套风机最好采用变频风机,这不仅节能,还可灵活调节风量风压。

空调


  五、多机冷水机组更灵活

  冷水机组如果要求较大的制冷量,不宜选用单机,宜采用多机制,电机宜用变频调速,以降低起动功率。多机可以灵活使用,不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象。

冷水机组


  六、使用企业节能管控平台

  企业节能管控平台旨在智能管控能耗,为企业节省成本,提高综合竞争力。在恒泰企业节能管控平台的管控下,能源按需供给,有助于降低单位能耗成本,能够量化班组能耗考核,有助于提高企业综合竞争力。能耗多少不再是一笔糊涂账!

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